第一階段是齒面點蝕，點蝕多發作在節線四周。
 

全新的高精密斜齒行星減速機輪齒未經磨合其外表會有必定的粗拙度。在節線四周，兩個減速器輪齒相互觸摸滑動的方向剛好發作改變，油膜厚度最薄，觸摸面積很小，并且只有動彈沖突而無滑動沖突，發生很大的觸摸壓應力，使新齒輪節線四周外表的一些小細節出高點受壓變形或掉落，因而構成點蝕，這種點蝕通常在減速器輪齒磨合期過后都能愈合。
 

第二階段是當觸摸應力和輪回次數超越必定極限時，兩齒面會發生細小的裂紋，觸摸應力是隨時間而變化的脈動輪回應力，隨輪回次數的添加，裂紋逐漸擴展，就會使裂紋之間的金屬微粒脫落下來構成齒面疲乏點蝕。
 

最終一個階段是脫落，其構成是很多點蝕的小凹坑聯合而成大洞。在這種景象下，應監督減速器輪齒脫落的速度以鋪排更換新減速器輪齒，然后防止減速器輪齒損壞構成毛病停機。